在科学研究中，三微技术是指微电子、微机械和微光学的综合应用。

1. 【技术】    - 人类在认识自然和利用自然的过程中积累起来并在生产劳动中体现出来的经验和知识，也泛指其他操作方面的技巧：钻研～｜～先进；指技术装备：～改造。

2. 【机械】    - 利用力学原理组成的各种装置。杠杆、滑轮、机器以及枪炮等都是机械； 比喻方式拘泥死板，没有变化；不是辩证的工作方法太～。

3. 【综合】    - 不同类别的事物组合在一起综合治理｜综合大学｜综合艺术； 见分析与综合”。